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半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù):高純水的制造及廢水、廢氣的處理

半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù):高純水的制造及廢水、廢氣的處理

定 價(jià):¥2.00

作 者: 趙玉瑋,陳美智編譯
出版社: 科學(xué)出版社
叢編項(xiàng):
標(biāo) 簽: 半導(dǎo)體工藝

ISBN: 9787030000040 出版時(shí)間: 1987-01-01 包裝:
開(kāi)本: 19cm 頁(yè)數(shù): 254頁(yè) 字?jǐn)?shù):  

內(nèi)容簡(jiǎn)介

  本書(shū)介紹了半導(dǎo)體生產(chǎn)中大量使用的洗滌用水-高純水的制備方法、純度測(cè)試及高純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì),介紹了從半導(dǎo)體工廠排放出來(lái)的廢水及有害氣體的情況及其處理方法。

作者簡(jiǎn)介

暫缺《半導(dǎo)體生產(chǎn)凈化技術(shù):高純水的制造及廢水、廢氣的處理》作者簡(jiǎn)介

圖書(shū)目錄

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