第一章 “精密”之旅——走近集成電路制造設(shè)備
“摩爾定律”的魔法術(shù)
空氣潔凈度
精密的尺度
“納米城市”的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
第二章 “精”彩紛呈——揭開(kāi)集成電路制造設(shè)備的神秘面紗
走進(jìn)潔凈室
潔凈室的特別之處
集成電路制造設(shè)備的“十八般武藝”
第三章 精準(zhǔn)的“注射”高手——離子注入機(jī)
芯片為什么需要“雜質(zhì)”
“注射”是一門大學(xué)問(wèn)
“蓄勢(shì)待發(fā)”的離子源
“萬(wàn)箭齊發(fā)”的束線
“工藝腔”里的故事
第四章 精湛的“攝影”大師——光刻機(jī)
走近光刻機(jī)
如何評(píng)判光刻機(jī)的“武功”
光刻機(jī)的“光”是怎么來(lái)的
光刻機(jī)“照相”的過(guò)程
光刻機(jī)內(nèi)部的“跑步冠軍”
光刻機(jī)里的“大哥大”——極紫外光刻機(jī)
第五章 精密的“雕刻”行家——刻蝕機(jī)
“雕刻”行家也用“刀”嗎
神秘的“雕刻魔法”之濕法刻蝕
神秘的“雕刻魔法”之干法刻蝕
“雕刻”行家特殊的工作環(huán)境
如何評(píng)估“雕刻”的水平
第六章 精確的“制衣”能手——薄膜沉積設(shè)備
芯片喜歡穿什么樣的“衣服”
“制衣”能手的絕活兒
物理“制衣”法——物理氣相沉積設(shè)備
化學(xué)“制衣”法——化學(xué)氣相沉積設(shè)備
原子“制衣”法——原子層沉積設(shè)備
第七章 日益“精”進(jìn)——集成電路制造設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)格局
“英雄輩出”——集成電路制造設(shè)備主要廠商
“群雄逐鹿”——集成電路制造設(shè)備的市場(chǎng)格局
“奮起直追”——中國(guó)集成電路制造設(shè)備的發(fā)展之路
參考文獻(xiàn)
后記