目錄
第1章　緒論　1
第2章　紅外探測器的分類和非制冷IRFPA開發(fā)的變遷　5
2.1　紅外探測器的分類　7
2.2　非制冷IRFPA開發(fā)的歷史　10
第3章　非制冷IRFPA的基礎　17
3.1　熱型紅外探測器的動作　19
3.2　非制冷IRFPA的構成和動作　19
3.3　紅外成像　20
3.4　IRFPA的性能指標　24
3.5　非制冷IRFPA的設計　27
3.5.1　決定響應度的主要因素　27
3.5.2　溫度傳感器　27
3.5.3　熱設計　28
3.5.4　紅外線吸收　37
3.6　理論極限　44
3.6.1　像素間距　44
3.6.2　NETD　47
第4章　鐵電IRFPA　51
4.1　鐵電紅外探測器的動作　53
4.2　混合鐵電IRFPA　55
4.3　鐵電薄膜單片式IRFPA　58
第5章　電阻測輻射熱計IRFPA　63
5.1　電阻測輻射熱計紅外探測器的動作　65
5.2　VOx微測輻射熱計IRFPA　67
5.3　采用其他材料的電阻測輻射熱計IRFPA　71
5.4　電阻測輻射熱計IRFPA的像素間距縮小和高分辨率化　76
5.5　中紅外范圍內具有響應度的非制冷IRFPA　80
第6章　熱電IRFPA　83
6.1　熱電紅外探測器的動作　85
6.2　熱電堆IRFPA　87
第7章　二極管IRFPA　95
7.1　二極管紅外探測器的動作　97
7.2　硅二極管IRFPA　98
第8章　雙材料型和熱光型IRFPA　107
第9章　非制冷IRFPA的真空封裝技術　113
9.1　真空封裝的必要性　115
9.2　初期的真空封裝技術　117
9.3　低成本化的改善　118
9.3.1　晶圓級真空封裝　118
9.3.2　芯片級真空封裝　122
9.3.3　批量處理式真空封裝　122
9.3.4　像元級真空封裝　124
9.4　微型真空計　126
第10章　非制冷紅外相機及應用　129
10.1　非制冷紅外相機的構成及應用　131
10.1.1　整體構成　131
10.1.2　光學系統　132
10.1.3　校正　133
10.1.4　溫度校正　138
10.2　暗視覺應用　140
10.3　溫度測量應用　143
10.4　其他應用　145
參考文獻　149
附錄　157
跋　165